접촉식 면저항측정기
Manual Type
Semi Auto Type
Full Auto Type
Handy type
비접촉식 면저항측정기
Manual Type
Semi Auto Type
Full Auto Type
In-line Type
Handy type
캐리어 라이프타임측정기
웨이퍼 Flatness / Resistivity
PN판정기
웨이퍼 두께측정기
Manual Type
Semi Auto Type
프로브헤드
확산저항측정기(SRP)
이미지센서 CIS 테스터
표준샘플
장비통합솔루션(측정모듈)
접촉식 면저항
비접촉식 면저항
PN판정
제품별 제품별
Semi-auto resistivity measurement system
RT-3000/RG-15D
- Rs:1m~1GΩ/□
- Res:1μ~1MΩ·cm
- Applications : Silicon ingot
- Ingot sizes : 50∼205 mm in d...
Full Auto resistivity measurement system
RT-3000/RG-15E
- Res : 100μ~1000k Ω·cm (bulk mode)
- Applications : Silicon ingot, Silicon bulk
- Sample sizes...
Manual Res/thickness measurement system
EC-80SCAN
- Rs : 0.01~3000 Ω/sq
- Res : 0.001~200 Ω·cm
- Thickness : 150~350 μm or 350~750 μm 
- A...
Manual resistivity, thickness, PN measurement...
EC-80TPN
- Rs : 0.01~3000 Ω/sq
- Res : 0.001~200 Ω·cm
- Thickness : 150~250 μm 
- Applications : Sili...

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