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접촉식 면저항측정기

비접촉식 면저항측정기

캐리어 라이프타임측정기

웨이퍼 Flatness / Resistivity

웨이퍼 두께측정기

프로브헤드

확산저항측정기(SRP)

이미지센서 CIS 테스터

제품별

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	Inline Non-contact Res., PN, thickness and lifetime measurement
	NC-100PV
	- Res : 0.1~15 Ω•cm - Rs : 5~750 Ω/sq - Thickness : 100~500 μm - Applications : Silicon wafer (Mono-crystalline, Poly-crystalline) - Wafer sizes : 126, 156, 210mmSQ (PSQ)
	- In-line on-the-fly measurement module for solar silicon wafer - Possilble to measure Resistivity and/or Thickness by each module without contact - PN type checker module (option)