- 확산저항 측정 단위 : 1~1G Ω

- 인가 전압 : 10mV

- 검출 전류 : 10pA ~10mA

- 탐침 재질 : TC, Os

- Tip radius : 20μm

- 탐침 하중 : 5, 10, 20 ,45g

- 탐침 간격 : 100μm

- 측정 stage : X축 (모터 구동), Y축, ø축, Z축 (수동)

- Probe 상하 : Air damper

- 현미경 : Max.500배 정도 (수직광, 사광조명)

- 방진대

- Utility : Electricity, Air